공정에 필요한 물질(GAS)을 공급하는 각종 배관 및 기기류를 가열, 일정 온도로 유지, 보온함으로써 온도 변화 및 공기 중의 산소와 반응한 산화물 생성을 억제하여 공급되는 물질의 순수성을 높이는데 적용